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    第39章 高精度 (第2/2页)

中的智能系统询问:“我们已经在光刻机的光学系统和掩模版技术上取得了突破,但这还不够。光刻胶的性能直接影响着光刻的分辨率,我感觉还有提升的空间。系统,你能给我解释一下,如何通过改进光刻胶的配方来进一步提高光刻的分辨率吗?”

    系统在星图的脑海中回应:“当然,星图。光刻胶是光刻过程中的关键材料,它的性能直接影响着光刻图案的精度和分辨率。改进光刻胶的配方主要可以从以下几个方面入手:

    提高光刻胶的感光性:通过优化光引发剂的种类和浓度,可以提高光刻胶对特定波长光的敏感度,比如使用适当浓度的硅酸,a-羟基酮类、苯偶酰类从而实现更精细的图案转移。

    增强光刻胶的化学稳定性:改进光刻胶的化学成分,可以选择6%高碳纤维3%高精度珪,使其在光刻过程中更加稳定,减少化学反应中的副产品,避免图案变形或尺寸变化。

    “太好了,我这去实验。”星图说道。随后星图就让李教授和张华,赵强按照7%浓度硅酸和7%的a-羟基酮类自由基去配置光学引光剂。众人表示不解,这不是标准。

    星图向团队成员解释:“根据我对光引发剂的最新研究,将7%浓度的硅酸与7%的a-羟基酮类自由基混合,有望制备出一种新型的光引发剂,这种组合可能在光刻胶中展现出更优异的性能,尤其是在提高分辨率和光刻图案的保真度方面。”

    李教授略带疑惑地说:“星图,硅酸在光刻胶中的应用并不常见,你确定这种组合可行吗?”

    星图自信地说道:“是的,李教授,我查阅了大量文献,并与智能系统进行了深入的探讨。理论上,硅酸可以增强光刻胶的化学稳定性和抗蚀性,而a-羟基酮类自由基是已知的高效光引发剂。两者的结合可能产生协同效应,值得我们尝试。”

    张华拿起试剂瓶,准备称量:“星老师,我明白了,我们按照你的指示配置光引发剂,然后进行初步的性能测试。”

    赵强调整混合器的参数:“对,我们先从小规模开始,确保配方的准确性和混合的均匀性。”

    王丽则开始准备记录实验数据:“那我来记录实验过程中的每一个细节,这样我们就可以跟踪光引发剂性能的变化。”

    李思远在看到众人众志成城加上星图的威望,开始犹豫,不过他还是准备了化学测试设备,并说:“一旦光引发剂配置完成,我将使用显微镜和光刻测试设备来评估它的性能。”

    星图点头,鼓励团队:“很好,我们分工合作,每个人负责自己的部分。科学探索总是伴随着未知和挑战,但正是这些未知和挑战推动我们前进。让我们开始吧!”

    团队成员们开始忙碌起来,实验室里响起试剂瓶碰撞的清脆声和设备运转的嗡嗡声。他们按照星图的指导,精确地称量试剂,小心翼翼地混合,然后使用精密的设备测试新型光引发剂的性能。星图在团队中穿梭,指导和监督实验的每一个步骤,确保实验过程的准确性和安全性。

    随着时间的推移,实验数据开始逐渐积累,星图和团队成员们围坐在一起,分析数据,讨论实验结果。

    虽然过程中遇到了一些预期之外的难题,但星图和团队成员们的热情和决心从未减退。他们相信,通过不懈的努力和团队的智慧,一定能够揭开新型光引发剂的奥秘,为光刻技术的进步贡献一份力量。

    不久以后,张华跑过来,兴奋地说道:“星图院士,您的方法很正确,光引发剂的效率提高了!”

    星图眼中闪过一丝惊喜,“快说说看!”

    “我们根据系统检测发现,按照你所说的方法配置可以进一步提高光刻的分辨率。”

    星图立刻召集所有成员,讨论这个新发现。

    经过一番激烈的讨论,他们决定立即着手加入其他实验。

    在接下来的日子里,星图和团队成员们日夜奋战,不断尝试各种光刻胶配方。

    终于,在许多失败和成功的经验后,他们成功找到了最适合的配方!

    光刻机的光引发剂效率达到了前所未有的高度。

    星图看着眼前的成果,脸上露出了欣慰的笑容。


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