李云海和李娟，来到纪文姝办公室。
倪教授等人都在。
纪文姝一看到李云海，便激动的大喊道：“李总！我成功了！我终于不负你的重望，我研究出了浸润式光刻机！”
李云海哈哈笑道：“恭喜你，纪总！我早就说过，你一定可以成功的！”
大家一起鼓掌，祝贺纪文姝。
纪文姝抑制不住，双手捧着脸，流下了幸福的泪水。
花了这么多年的时间，才研制成功，这里面的辛酸苦辣，个中滋味，只有当事人自己才能明白。
李云海轻轻拍了拍纪文姝的肩膀，笑道：“不要哭，大喜的日子！今天晚上，我们聚餐！对了，纪总，这个项目成功了，我要奖励你和你的团队一千万现金！”
全场发出一声哇的的惊呼，然后大声叫好。
纪文姝果然不哭了，扑哧笑道：“一千万啊？太多了吧？”
李云海道：“你还嫌多啊？那我减半？”
纪文姝连忙说道：“别别别，又不是我一个人得，大家都要分的嘛！李总，我带你们去看看机器。”
李云海点头称好。
大家来到试验室。
现在发明的浸润式光刻机，还只是在试验室里成功，要将这个技术，变成可以量产的项目，还得花费一些时间。
浸润式光刻机的原理，是在晶圆上方加入一层水，并使用深紫光线光源的光刻机。
当深紫外光通过水折射时，193 nm波长，就会变成134nm，从而提高光刻精度。
除浸润式系统外，其它结构与普通非浸润式光刻机相似。
以前的四海集团，本就拥有相关的光刻机技术。
物镜系统是国产浸润式光刻机的难点。
好在李云海早就做了准备。
在ASML还没有发动研究的时候，李云海就已经与卡尔蔡司达成合作，而且是独家合作！
也就是说，卡尔蔡司只能和四海集团一起开发相关的物镜系统。
目前国际上最先进的物镜系统，只能达到90nm。
李云海的眼光放得更长远，他要求三江科研院，尽快取得更大的突破。
不过，目前来看，90nm已经够用很长一段时间了。
科技的发展，本就是挤牙膏一样，慢慢的成长，而不是一蹴而就。
工作台是浸润式光刻机中不太困难的部份。
原来的四海科研院，就已经研制出工作台，经过纪文姝团队的改良之后，现在已经实现了134nm的精度控制。
因此对于浸润式光刻机而言，工作台的问题基本解决了。
浸润式系统由控制软件、液态传感器和控制器等组成。
三江科研院，在浸液控制系统上取得了重大突破，为浸润式光刻机的实现奠定了基础。
国产浸润式光刻机的实现，我国就有能力制造更高级别的芯片！
包括以后的14nm和7nm芯片！
如此一来，我们可以大大减少对进口设备的依赖。
浸润式光刻机的突破为我国芯片制造业提供了很大的希望。
（本章未完，请点击下一页继续阅读）
最新网址：xiashukan.com